강원 반도체 공정용 진공로봇 개발 착수

강원 반도체 공정용 진공로봇 개발 착수

독일 칼스루헤대학교 MOU협정 후속사업

 

강원도가 다음 달부터 ‘플라즈마 응용 반도체 공정용 진공로봇 개발’에 본격 착수한다.

 

강원도는 28일 독일 칼스루헤대학교와 ‘플라즈마 응용 반도체 공정용 진공로봇 개발’를 위한 계약을 체결하고 다음 달부터 착수, 가시화 시킬 계획이라고 밝혔다.

 

이에 앞서 도는 지난 해 11월 플라즈마 응용산업에 대한 국제경쟁력 확보와 공동연구기반 조성, 시장진출 모색 등을 위해 독일 칼스루헤대학교와 플라즈마 공동연구 상호협력 MOU를 체결했다.

 

도에 따르면 이번에 진행하는 ‘플라즈마 응용 반도체 공정용 진공로봇 개발’ 프로젝트는 경쟁적이고 혁신적인 산업으로 반도체 공정용 진공로봇의 디자인 및 시제품개발로서 플라즈마 데포지션(플라즈마 퇴적)등 진공상태에서의 기존방법에 대한 이용과 새로운 방법의 개발이 프로젝트의 핵심 주제가 된다.

 

이 프로젝트는 강원도, 강원테크노파크와 독일 칼스루헤대학교의 IMI연구소를 비롯해 다름슈타트대학(전기컴퓨터공학과)등 4개 프로젝트팀의 종합적인 선진기술을 기반으로 개발된 제품의 지적재산권과 특허 사용권 활용을 통해 도내 창업 등 상업적 활용을 진행 할 계획이다.

 

개발된 제품은 도내 연구소와 관련된 진공세라믹 베어링, 진공용 윤활유, 진공용 금속표면 처리 및 물류이동과 관련한 공장자동화 시뮬레이션 기술 등에 접목시켜 기술의 고부가 가치화를 도모하게 된다.

 

특히 도는 이 프로젝트를 통해 독일 소유의 유·무형 선진기술자원을 활용, 플라즈마 국제 공동연구소 설립 기반을 마련하게 됐다.

 

이와 함께 도내 플라즈마 응용기술 향상은 물론 향후 산업발전을 촉진하는 첫번째 전기를 마련해 철원군의 ‘플라즈마산업 첨단 R&BD집적지 조성’에도 크게 기여할 것으로 기대하고 있다.

 

한편 국내 로봇시장은 반도체와 자동차, 항공산업의 발전으로 제조업 로봇 중심으로는 약 2천억원 규모의 시장이 형성되어 있어 반도체 제조공정에 활용되는 기술과 디스플레이 및 광학 미디어용 기술의 국산화가 시급한 실정이다.

 

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